Online Tagung  /  25. November 2021

GMM-Nutzergruppentreffen 1.2.6 "Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik"

Fraunhofer IISB

Wir laden Sie herzlich ein zu unserem 19. Treffen der GMM-Fachgruppe 1.2.6 "Prozesskontrolle, Inspektion & Analytik" am 25. November 2021: Beginn ist um 9 Uhr, Ende voraussichtlich gegen 17 Uhr.

Das Schwerpunktthema des Treffens ist „Massenspektroskopische Methoden in der Halbleitertechnologie“. Vorträge oder Diskussionsbeiträge zu diesem Thema sind herzlich willkommen.

Ziel der GMM-Fachgruppe ist es, ein offenes Forum für Diskussionen im Bereich der Prozesskontrolle, der Inspektion und der Analytik zu schaffen und einen Erfahrungsaustausch zwischen Herstellern von Halbleiterbauelementen (Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, Photovoltaik), Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen zu ermöglichen. Aus diesem Grund sind neben Beiträgen zum oben genannten Schwerpunktthema ebenfalls Vorträge zu anderen Themen aus dem Bereich "Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik" sehr willkommen. Sie sind daher herzlich eingeladen, interessante Themen aus Ihrem Arbeitsbereich vorzustellen. Bitte geben Sie hierzu einfach den Titel Ihres Beitrages bei der Online-Registrierung (siehe unten) an.

Die Tagesordnung sowie der Link zum virtuellen Workshop werden kurz vor dem Treffen bekannt gegeben. Voraussichtlich wird Microsoft Teams für die Veranstaltung genutzt werden.

Weitere Informationen über die GMM-Nutzergruppe "Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik" und ihre vergangenen Treffen finden Sie hier.